פרמטרים טכניים
הרכב | תוֹכֶן | מס' CAS |
מים טהורים | 85-90% | 7732-18-5 |
נתרן בנזואט | 0.1-0.2% | 532-32-1 |
חומר פעיל שטח | 4-5% | ∕ |
אחרים | 4-5% | ∕ |
תכונות מוצר
1、רמת הגנה על הסביבה גבוהה: ניתן להשיג תחריט סלקטיבי ללא שימוש בבסיסים אורגניים כגון TMAH.
2、עלות ייצור נמוכה: שימוש ב-NaOH/KOH כנוזל התחריט, העלות נמוכה בהרבה מתהליך הליטוש והתחריט חומצי.
3、יעילות תחריט גבוהה: בהשוואה לתהליך הליטוש והתחריט חומצי, יעילות הסוללה גדלה ביותר מ-0.15%.
יישומי מוצר
1、 מוצר זה מתאים בדרך כלל לתהליכי סוללת Perc ו-Topcon;
2、מתאים עבור גבישים בודדים של 210, 186, 166 ו-158 מפרטים.
הוראות לשימוש
1、הוסף כמות מתאימה של אלקלי למיכל (1.5-4% על בסיס יחס נפח KOH/NAOH)
2、הוסף כמות מתאימה של מוצר זה למיכל (1.0-2% על בסיס יחס נפח)
3、חמם את נוזל מיכל הליטוש ל-60-65 מעלות צלזיוס
4、הכנס את פרוסת הסיליקון עם ה-PSG האחורי הוסר לתוך מיכל הליטוש, זמן התגובה הוא 180s-250s
5、 ירידה במשקל מומלצת לכל צד: 0.24-0.30 גרם (מקור רקיק 210, מקורות אחרים מומרים בפרופורציות שוות) תאים סולאריים PERC יחידים ופולי-גבישיים
אמצעי זהירות
1、יש לאחסן תוספים הרחק מאור.
2、כאשר קו הייצור אינו מייצר, יש למלא את הנוזל ולנקז אותו כל 30 דקות.אם אין ייצור במשך יותר משעתיים, מומלץ לנקז ולמלא את הנוזל.
3、 איתור באגים בקו חדש דורש עיצוב DOE המבוסס על כל תהליך של קו הייצור כדי להשיג התאמת תהליכים, ובכך למקסם את היעילות.ניתן להפנות את התהליך המומלץ לניפוי באגים.